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在壓力變送器的數(shù)據(jù)手冊中,經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)精度和穩(wěn)定性兩個(gè)技術(shù)參數(shù)。其中的精度指的是壓力變送器量程范圍內(nèi)靜態(tài)的壓力誤差參量。穩(wěn)定性是指的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性的統(tǒng)稱,在溫度穩(wěn)定性方面最主要的兩項(xiàng)是靈敏度溫度漂移和零點(diǎn)溫度漂移,這兩項(xiàng)的漂移幾乎與正常測量應(yīng)變時(shí)電阻變化同一個(gè)數(shù)量級。
壓力變送器靈敏度溫度漂移是單晶硅壓力傳感器在溫度變化時(shí)產(chǎn)生的一個(gè)偏差量,此偏差量是由于單晶硅膜片壓阻系數(shù)隨溫度變化而產(chǎn)生的。當(dāng)溫度升高時(shí),膜片的壓阻系數(shù)變小,當(dāng)溫度降低時(shí),膜片壓阻系數(shù)變大。由此可推斷,當(dāng)溫度升高時(shí),傳感器的靈敏度降低,溫度降低時(shí),傳感器的靈敏度升高。根據(jù)試驗(yàn)所得,單晶硅傳感器具有完全的負(fù)溫度系數(shù)特性,且溫度系數(shù)為0.03‰。在實(shí)際使用中,由于惠斯頓電橋上的電阻阻值不完全相等,且膜片有0.03‰的溫度系數(shù),因此就會(huì)產(chǎn)生穩(wěn)定性誤差。
針對靈敏度溫度漂移,我司在設(shè)計(jì)時(shí)硬件上采用靈敏度自動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)制,在傳感器靈敏度發(fā)生變化時(shí),采用相反的電壓調(diào)整補(bǔ)償機(jī)制,使傳感器靈敏度維持在恒定狀態(tài)。同時(shí)我司采用綜合矩陣式標(biāo)定機(jī)制,以保證產(chǎn)品的測量精度。